電界放出形走査電子顕微鏡・HITACHI（FE-SEM）
メーカー・型式等
- 型 番
- S-5200
- メーカー
- HITACHI
- スペック
- 加速電圧：0.5～30 kV、分解能：0.5 nm(30 kV)
概要
試料に電子線を照射して、試料表面から発生する2次電子を検出することにより、試料の表面形態を観察することができます。
使用例
文献
- Siハニカムフィルタによる室内エアロゾルの解析木原 麻利央・ヨウ ケンホウ・澤 泰久・野上 敦嗣
試料に電子線を照射して、試料表面から発生する2次電子を検出することにより、試料の表面形態を観察することができます。