概要

試料に電子線を照射して、試料表面から発生する2次電子を検出することにより、試料の表面形態を観察することができます。

型　　番

S-5200

メーカー

HITACHI

スペック

加速電圧：0.5～30 kV、分解能：0.5 nm(30 kV)

使用例

文献

• Siハニカムフィルタによる室内エアロゾルの解析木原 麻利央・ヨウ ケンホウ・澤 泰久・野上 敦嗣