概要

試料に電子線を照射して、試料表面から発生する2次電子を検出することにより、試料の表面形態を観察することができます。

型  番
S-5200
メーカー
HITACHI
スペック
加速電圧:0.5~30 kV、分解能:0.5 nm(30 kV)

使用例

                       

文献

  • Siハニカムフィルタによる室内エアロゾルの解析木原 麻利央・ヨウ ケンホウ・澤 泰久・野上 敦嗣