表面数nmに存在する元素 (Li~U)に対し、定性・定量分析が可能です。 XPSは励起源として軟X線を用いているため、励起光による試料損傷が少なく、絶縁物の帯電も容易に除去できることから、金属材料だけでなく、高分子材料など多くの材料に対して測定が可能です。