測定サンプルにX線を照射して発生する固有の蛍光X線を測定することで、構成成分の組成分析と定量分析を同時に行う。サンプルの形状は固体、液体、粉末、スラリーなどほぼすべての形態に対応。軽元素(H~F)には非対応。