メーカー・型式等

型　　番

LEXT OLS4100

メーカー

オリンパス

スペック

移動分解能：10nm

概要

非接触でサンプルの三次元表面形状の観察・測定が可能なレーザー顕微鏡です。複雑な微細形状の測定に優れ、触針式表面粗さ測定機とのデータ互換性もあります。